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技術文章
TECHNICAL ARTICLES
更新時間：2020-12-26
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光學視頻接觸角測量儀在半導體晶圓玻璃面板的應用
水滴角測量儀/接觸角測量儀的算法必須能夠實現修正重力影響條件下準確分辨左、右角度值的能力。水滴角測量儀或接觸角測量儀自20世紀70年代開始生產，且實現了很好的銷售業績。
利用水表面張力靈敏度非常高的特性，通過左、右角度偏差值以及水接觸角的變化范圍，定義材料表面的清潔度，分析等離子清洗（Plasma）效果。
特別指出的是，如上所述，重力會影響水滴角的測量。通常而言，量角器法的水滴角測量儀或接觸角測量儀是通過控制進液的精度想達到實現或提升重復性的目標，控制的液滴量通常為2uL左右。但是，即使是2uL，此時仍然存在重力影響，測值結果仍然與真正的Young-Laplace方程擬合算法得出的數據不一致的。且，通過而言，除非采用噴射針頭，其他的針頭進液方法均需要通過移液，即將水滴接觸到固體樣品后，利用固體的表面張力將水滴吸下去。正是由于固體表面張力不同，很難確保終滴下的液滴量是*一致的。需要注意的是，沒有一致的兩個液滴的，也不能說0.1uL誤差就會導致不受重力影響了。
更值得注意的是，測試水滴角值時，我們需要利用左、右角度變化以及測值精度的偏差來判斷清潔度，兩個數據是綜合起來運用的。因而，通過滴多個液滴并評估水滴角多個值的變化事實上已經是非常效率低下，準確度不高的技術了。
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