測量儀產生誤差的原因

更新時間：2021-01-05

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影像測量儀是它是一種基于光學投影原理，結合應用現代光電技術和計算機處理技術，完成對試件邊緣輪廓金相瞄準來實現長度尺寸測量的二維平面坐標位置測量儀。該儀器能高效地檢測各種形狀復雜工件的輪廓和表面形狀尺寸、角度及位置，特別是精密零部件的微觀檢測與質量控制。適用于產品開發、逆向工程、品質檢測等領域。比起傳統的萬能工具顯微鏡和投影儀，在硬件上增加了CCD攝像傳感器、數顯化光柵位置輸出裝置及自動定位伺服控制系統，在測量或軟件功能上，具有自動對焦、自動瞄準及各種復雜自動計算處理特點。電子和圖像處理技術的發展應該，為影像測量儀的多功能、高精度和自動化程度提供了關鍵的技術支撐作用。應用于工程現場測量的影像測量儀，通常其分辨率為0.001mm，測量不確定一般為（3+L/200）um左右，其中L為測量長度（mm）。

一般誤差出現的原因有以下幾點：

1）光柵計數尺的誤差；
2）工作臺移動時存在的直線度、角擺帶來的誤差；
3）工作臺兩測量軸垂直度帶了的誤差；
4）顯微鏡光軸與工作臺不垂直帶了的誤差；
5）測量室溫度帶來的誤差；
6）光源照明條件的變化帶來的對焦和對準誤差。

在這幾種因素中，前四項誤差，是硬件誤差，在儀器制造過程中已經形成并固定下來，一般無法改變，溫度影響帶來的誤差，必須通過控制測量室的溫度和等溫過程來減小其影響。