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產(chǎn)品中心光學測量儀器共面性測量儀PZ-332C半導體共面性測量設備
產(chǎn)品簡介
半導體共面性測量設備結構美觀大方，操作簡便，結合本公司自主研發(fā)的測量軟件，可實現(xiàn)準確的元器件共面性、工件外形尺寸等測量，性價比高、拓展性強、功能全面、可滿足各種常規(guī)測量需求。
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產(chǎn)品簡介：
共面性指表面組裝元器件引腳垂直高度偏差，即引腳的高腳底所成水平面與引腳的腳底形成的水平面之間的垂直距離。PZ-332C半導體共面性測量設備龍門結構美觀大方，操作簡便，結合本公司自主研發(fā)的測量軟件，可實現(xiàn)準確的元器件共面性、工件外形尺寸等測量，性價比高、拓展性強、功能全面、可滿足各種常規(guī)測量需求。
產(chǎn)品特點：
具有快速對焦、自動尋邊、強大的編程和自動測量功能
采用亞像素細分技術，提高圖像邊界分辨能力
操縱桿/鼠標操作，方便易用
程控恒流驅動式八區(qū)表面冷光源，可適應復雜的工件測量
激光指示器指示測量位置，方便快速定位
在線SPC數(shù)據(jù)處理分析，大批量治具測量功能
三軸伺服控制，定位精度高速度快，XY速度可達300mm/s，運行平穩(wěn)
自主開發(fā)的嵌入式模塊控制系統(tǒng)，將復雜的控制系統(tǒng)集成在儀器內(nèi)部，穩(wěn)定性更高
采用花崗石底座，性能穩(wěn)定，不易變形
產(chǎn)品規(guī)格：
型號 PZ-332C | |
XY軸運動視覺量程 | ≥400mm×300mm |
XY軸運動激光量程 | ≥300mm×300mm |
Z軸運動量程 | 100mm |
XYZ光柵數(shù)顯分辨率 | 0.5µm |
XY軸運動定位精度 | ±3µm |
載物臺防靜電處理 | 加防靜電膠皮 |
載物臺承重 | ≥2公斤 |
可檢測最小球直徑 | ≤60µm |
視覺影像系統(tǒng) | |
光學鏡頭倍率 | 0.6X~8X |
視頻總放大倍率 | 約16X~420X |
光學鏡頭物方視場 | 約1mm~10mm |
光學鏡頭工作距離 | 約80mm |
XY示值誤差（視覺測量） | ±（2.5+L/200）µm
|
高清晰度工業(yè)數(shù)字相機 | 200W |
底光源、環(huán)形表面光源、同軸光源 | 程控LED冷光源 |
線激光頭參數(shù) | |
線激光Z向靜態(tài)測量范圍 | 5.2mm |
激光線總寬度 | 14.5mm |
Z向運動測量示值誤差（激光測量） | ±5µm |
激光線點間距 | 5µm |
工控主機及顯示器 | |
CPU | Intel i7
|
內(nèi)存 | 32G |
液晶顯示器 | 23.8寸 |
硬盤 | 2TB |
其 它 技 術 參 數(shù) | |
電源 | AC220V 50/60HZ 1200W |
儀器凈重 | 約760kg |
儀器外形尺寸（長*寬*高） | 1100mm×1000mm×1550mm |
使用環(huán)境 | 室溫20℃±2℃，濕度低于60%，振動<0.002g,低于15Hz, |
產(chǎn)品原理：
半導體共面性測量設備通過線激光對芯片有焊錫球及引腳的表面進行掃描，采集出三維點云數(shù)據(jù)，并由軟件處理生成工件的3D圖形，通過軟件算法提取3D圖中每個焊錫球或引腳的最高點，再用所有最高點生成一個平面，并計算出平面度值即為焊錫球或者引腳共面性。
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